本文介紹一種基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。這種解決方案可用于實施軸承分析或發(fā)動機(jī)監(jiān)測，且適用于所有需要動態(tài)范圍高達(dá)±50 g、頻率響應(yīng)范圍為從直流至11 kHz的應(yīng)用。

 

圖1顯示的是一個示例電路。來自ADXL1002的模擬輸出信號通過2階RC濾波器饋送至逐次逼近寄存器(SAR)模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC) AD4000，將模擬信號轉(zhuǎn)化為數(shù)字值，以進(jìn)一步處理信號。

 

圖1.ADXL1002的示例電路

 

ADXL1002是ADI公司一款高頻率的單軸MEMS加速度計，提供遠(yuǎn)超過傳感器諧振頻率范圍的輸出信號通頻帶。采用此器件之后，也可以監(jiān)測3 dB帶寬以外的頻率。為了實施這種監(jiān)測，ADXL1002的輸出放大器需要支持70 kHz小信號帶寬。使用ADXL1002的輸出放大器也可以直接驅(qū)動實現(xiàn)高達(dá)100 pF的容性負(fù)載。要實現(xiàn)高于100 pF的負(fù)載，需要使用不低于8 kΩ的串聯(lián)電阻。

 

ADXL1002的輸出端需要配備外部濾波器，以消除ADXL1002的輸出放大器和其他內(nèi)部噪聲組件產(chǎn)生的混疊噪聲，例如，耦合內(nèi)部200 kHz時鐘信號產(chǎn)生的噪聲。因此，需要相應(yīng)采用濾波器帶寬。采用圖1所示的尺寸（R1 = 16 kΩ，C1 = 300 pF，R2 = 32 kΩ，C2 = 300 pF）時，在200 kHz時會實現(xiàn)約84 dB衰減。此外，選擇的ADC采樣速率應(yīng)該高于放大器的帶寬（例如，32 kHz）。

 

對于ADC，選擇ADXL1002的電源電壓作為其基準(zhǔn)電壓源，這是因為輸出放大器與電源電壓成比率關(guān)系。在本例中，電源電壓的容差和電壓溫度系數(shù)（一般連接至外部穩(wěn)壓器）介于加速度計和ADC之間，所以可以抵消與電源和基準(zhǔn)電壓相關(guān)的隱含誤差。

 

頻率響應(yīng)

 

加速度計的頻率響應(yīng)是該系統(tǒng)最重要的特性，具體如圖2所示。在頻率高出約2 kHz至3 kHz時，增益增加。對于諧振頻率(11 kHz)，在輸出電壓下產(chǎn)生約12 dB（因子為4）的最大增益值。

 

圖2.ADXL1002的頻率響應(yīng)

 

為了顯示量程過沖（超量程），ADXL1002配備了一個對應(yīng)的輸出（OR引腳）。發(fā)生明顯的超量程事件時，集成式監(jiān)測器會發(fā)出警報。

 

機(jī)械安裝注意事項

 

應(yīng)特別注意將加速度計放置在正確的位置。加速度計應(yīng)安裝在靠近板的剛性安置點的位置，避免電路板本身產(chǎn)生任何振動，以及因為電路板振動未受抑制而導(dǎo)致的測量誤差。這種放置可以確保加速度計每次受到的電路板振動的頻率都高于機(jī)械傳感器的諧振頻率，因此實際上對加速度計是不可見的。多個安裝點時，接近傳感器和較厚的板也有助于降低系統(tǒng)諧振對傳感器性能的影響。

 

結(jié)論

 

采用圖1所示的電路時，可以相對容易地構(gòu)建基于MEMS的解決方案，ADI公司該方案可以檢測直流范圍到11 kHz的振動（旋轉(zhuǎn)機(jī)器的狀態(tài)監(jiān)控通常要求采用這一范圍）。

 

參考資料：

 

電路筆記CN-0303：帶頻率響應(yīng)補(bǔ)償?shù)腗EMS振動分析儀。ADI公司，2016年9月。

 

作者簡介

 

Thomas Brand于2015年加入德國慕尼黑ADI公司，當(dāng)時他還在攻讀碩士。畢業(yè)后，他參加了ADI公司的培訓(xùn)生項目。2017年，他成為一名現(xiàn)場應(yīng)用工程師。Thomas為中歐的大型工業(yè)客戶提供支持，并專注于工業(yè)以太網(wǎng)領(lǐng)域。他畢業(yè)于德國莫斯巴赫的聯(lián)合教育大學(xué)電氣工程專業(yè)，之后在德國康斯坦茨應(yīng)用科學(xué)大學(xué)獲得國際銷售碩士學(xué)位。聯(lián)系方式：thomas.brand@analog.com。

 

 

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