產(chǎn)品特性：

• 具有±10帕的高精度
• 0.1帕的高分辨能力
• 體積為12.5ml、重量為15g
• 壓力檢測范圍：50 ～ 150 kPa
• 工作溫度范圍：-20 ～ +70 ℃

應(yīng)用范圍：

• 氣象觀測中大氣壓的高精度測試
• 大氣壓變化的高低差的測試
• 室內(nèi)門窗等開關(guān)的內(nèi)部壓力變化測試
• 高精度氣壓測試等新領(lǐng)域

Epson Toyocom公司開發(fā)出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨創(chuàng)的QMEMS技術(shù)制造出的壓力傳感結(jié)構(gòu)，以此開發(fā)出具有±10帕（約一萬分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力傳感器。

預(yù)定2009年度將其商品化。

壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)課題：小型化時會造成性能下降；追求高性能時又不得不增大構(gòu)造。

Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元，由此得到安定度高的振蕩頻率，從而實現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。
在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開發(fā)出獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造，使同時具有小型及高性能——這兩種相對性能的產(chǎn)品的實現(xiàn)變?yōu)榭赡堋?/p>

為此，可以下述領(lǐng)域(例如：氣象或安全方面)為代表，在使用壓力傳感器的各種儀器的小型化及性能提高上做出巨大貢獻(xiàn)。

• 用于氣象觀測中大氣壓的高精度測試
• 用于大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試
• 用于測試室內(nèi)門窗等開關(guān)而造成的微小的內(nèi)部壓力變化

而且是通過搭載于周圍機(jī)器，可應(yīng)用于高精度氣壓測試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。

現(xiàn)在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上，今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測技術(shù)的進(jìn)化，創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。

主要規(guī)格