2012高端精密電子束鍍亮相高工LED展

據(jù)大和熱磁相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，TFC3500采用世界廣泛使用的電子槍(Temescal)，高壓電源(Ferrotec 德國)，低溫泵(美國CTI) 以及進(jìn)口干泵、真空規(guī)、晶震膜厚控制器、電子束掃描器、閘板閥、磁流體密封軸承、電子線路元器件等。

其蛋殼型不銹剛主腔體在保證大裝片量的同時(shí)，有效地縮短了排氣時(shí)間。可滑動(dòng)電器柜和可升降電子槍底盤減少了占地空間方便了使用和維護(hù)，整體結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)能，占地面積小。

同時(shí)，在信息化時(shí)代，TFC3500可以通過電腦軟件和操作系統(tǒng)對復(fù)雜的鍍膜工藝過程進(jìn)行安全可靠的全自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)記錄。同時(shí)配備有LED行業(yè)需要的基片高溫紅外加熱器，反應(yīng)氣體流量控制器，可控低溫泵閘板閥等等。

談到未來的發(fā)展，楊東紅表示，F(xiàn)errotec(中國)未來將致力于降低生產(chǎn)成本，增加供應(yīng)量，繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力，不斷研制開發(fā)具有國際水準(zhǔn)，又適合于中國市場需求的高科技鍍膜機(jī)，以便更好的滿足和適應(yīng)中國未來LED行業(yè)的發(fā)展需求。

經(jīng)過20年快速發(fā)展，F(xiàn)errotec(中國)員工從9人到5000人，廠房面積從500平米到23.6萬平米，投資總額從1.5億日元到200億日元，銷 售額從原始38萬元人民幣到45億元人民幣。已發(fā)展成以半導(dǎo)體、太陽能及功能材料為主導(dǎo)的三大主業(yè)為中心，集研發(fā)、制造和服務(wù)為一體的多元化企業(yè)集團(tuán)和有 多元化技術(shù)的跨國集團(tuán)。并在半導(dǎo)體、太陽能光伏、精密機(jī)械高端領(lǐng)域樹立了良好的業(yè)界形象。

在即將開幕的2012高工LED展上，大和熱磁將首次推出其最新研制的高端精密電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)TFC3500。“這是為LED制造業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域?qū)ｉT研發(fā)的，憑借著美國Ferrotec Temescal 六十年悠久的歷史和經(jīng)驗(yàn)，以及在電子槍和鍍膜機(jī)制造方面的多項(xiàng)專利技術(shù)，同時(shí)吸收了美國、德國、日本等國內(nèi)外的最新工藝”楊東紅說。”杭州大和熱磁電子有限公司(以下簡稱“大和熱磁”)真空技術(shù)事業(yè)部的楊東紅在接受《高工LED》記者采訪時(shí)既興奮又無奈地表示，由于全球經(jīng)濟(jì)持續(xù)低迷，已經(jīng)影響到半導(dǎo)體和通信行業(yè)，雖然上半年大和熱磁的整體銷售額保持了一定增長，但增長速度與往年相比稍有放緩。

楊東紅指出，與傳統(tǒng)的鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不同，TFC3500的真空室和蒸發(fā)距離可以按用戶需要加長，從而滿足在6英寸或更大尺寸基片上的鍍膜要求，適合50mm~150mm晶圓ITO膜制成工藝。

今年上半年，全球都面臨著嚴(yán)峻的經(jīng)濟(jì)疲軟考驗(yàn)，尤其是新興產(chǎn)業(yè)。但楊東紅認(rèn)為：“LED行業(yè)作為國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展和支持的新興產(chǎn)業(yè)，在下半年依然會(huì)有更多有活力的企業(yè)，投入新的生產(chǎn)線推動(dòng)擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，預(yù)計(jì)公司今年整體銷售情況不會(huì)如想象的那么悲觀。”